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光弛Gener-2350 光学真空镀膜机 二手日本光弛镀膜机工厂低价转让2台进口原装GENER-2350真空镀膜机
真空室Ф2350mm×H 1400mm
基板架Ф2200 mm，5?式
基板架转速20rpm
晶振式膜厚计6点式?晶传感器
蒸发源电?枪1台，热阻蒸
离?源RF离?源
达到压?7.0E-5Pa以下
排?时间15分以下（??压?2.0×10-3 Pa）
设备尺?约6300mm (W) ×9000mm (D) ×4000mm (H)
电源3相,200v,50/60Hz,约80KVA
?流量220升/分以上
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