氧化硅抛光液氧化硅抛光液(CMP抛光液)是以高纯硅粉为原料,经特殊工艺生产的一种高纯度低金属离子型抛光产品。广泛用于多种材料纳米级的高平坦化抛光,如:硅晶圆片、锗片、化合物半导体材料砷化镓、磷化铟,精密光学器件、蓝宝石片等的抛光加工。
半导体行业 CMP技术还广泛的应用于集成电路(IC)和超大规模集成电路中(ULSI)对基体材料硅晶片的抛光。随着半导体工业的急速发展,对抛光技术提出了新的要求,传统的抛光技术(如:基于淀积技术的选择淀积、溅射等)虽然也可以提供“光滑”的表面,但却都是局部平面化技术,不能做到全局平面化,而化学机械抛光技术解决了这个问题,它是可以在整个硅圆晶片上平坦化的工艺技术。
抛光液是一种不含任何硫、磷、氯添加剂的水溶性抛光剂,抛光液具有良好的去油污,防锈,清洗和增光性能,并能使金属制品显露出真实的金属光泽。性能稳定、,对环境无污染等优点。
抛光液作为金属加工液检测种类的重要一员,对金属表面的打磨处理,满足平坦化需求起着关键性的作用。抛光液适用于铅锡合金, 铜, 锌合金, 不锈钢, 铝合金, 铁等金属零部件的抛光, 光亮度可达 12 级, 可取代多种进口抛光剂和抛光粉。
对光泽来说,芳香族,脂肪族差。此性质受固化温度的影响,随温度升高,光泽变好。至于柔软性,官能基间距离长的聚酰胺更优良一些,而交联密度高的芳香胺则差。耐热性与柔软性正好相反,而粘接性则与柔软性一致。耐药品性(耐酸性)受化学结构影响,芳香族比较优良,脂肪胺和聚酰胺则易受化学药品腐蚀。耐水性受官能基质量浓度的支配,官能基质量浓度低、疏水度高的聚酰胺类更耐水,而官能基质量浓度高的芳香族则差一些。
混凝土密封固化剂对旧混凝土或水泥砂浆地面的缺陷如:起砂,起尘起灰严重等也有着非常好的效果,当然,如果旧混凝土地面比较脏,则必须对表面进行必要的处理。
这主要是因为,结晶材料的成分一般都是草酸、氟硅酸、树脂、蜡质等,它是利用酸性刻蚀作用和树脂及蜡质的填补作用完成抛光的。而封釉技术的主要成分为SiO2(二氧化硅),SiO2就是花岗石的主要成分,也是我们用的玻璃的主要成分,它是将SiO2覆盖到石材表面上形成出光效果的。二氧化硅形成的亮度、耐磨度,要远高于钙质层、树脂、蜡质。因此不但品质更佳,而且耐磨度更高。
封釉是膏状材料,它和水剂、粉的使用方法不太相同。抛封釉时,不要先放一大块到地上,再指望着靠晶面机+垫子去分布均匀。
比如,很多工人会挖一大块放到地上,或抹一条线,然后启动晶面机,靠垫子一点一点去蹭。再把材料分散开。其实很多时候是根本分不均匀的。效果差的是先放一大块到地上,然后移动晶面机压上去开始抛磨,其实更难散布均匀。